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碳化硅单晶锭生长装置制造方法及图纸
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下载碳化硅单晶锭生长装置的技术资料
文档序号:23394233
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本发明的实例提供如下的碳化硅单晶锭生长装置,即,收纳有晶锭的原料的原料收纳部的内部直径小于晶种的直径,从而可以在增加碳化硅单晶锭的直径的同时提升碳化硅单晶锭的品质。...
该专利属于SKC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SKC株式会社授权不得商用。
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