下载碳化硅单晶锭生长装置的技术资料

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本发明的实例提供如下的碳化硅单晶锭生长装置,即,收纳有晶锭的原料的原料收纳部的内部直径小于晶种的直径,从而可以在增加碳化硅单晶锭的直径的同时提升碳化硅单晶锭的品质。...
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