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本发明公开了一种二维激光螺旋式清洗方法，激光清洗系统包括两个正交偏转的数字振镜电机，激光依次通过光隔离系统和准直系统后，依次入射到两个正交偏转的数字振镜电机轴上的反射镜上，经二次反射后，由场镜约束聚焦在二维平面内扫描烧蚀靶材基底上的表面污渍...
该专利属于镇江长悦光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江长悦光电科技有限公司授权不得商用。

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