下载蒸发源及真空蒸镀系统的技术资料

文档序号:23309392

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种蒸发源及真空蒸镀系统,属于显示技术领域。该蒸发源包括:腔体,设置在腔体内的坩埚和驱动组件,以及加热组件;其中,坩埚为可伸缩结构,用于放置蒸镀材料;该腔体的一侧设置有出气孔,该驱动组件位于坩埚远离出气孔的一侧,驱动组件用于驱动...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。