下载远场纳米级超分辨全场光学计量系统和方法的技术资料

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一种用于在远场纳米级上传递样品或物体(6)的表面形貌信息的超分辨率全场光学计量系统,该系统包括:光源(2);干涉仪(1a、1b、1c、1d),其包括参考臂和物体臂,参考臂包含微球(9)和镜子(10),物体臂包括类似于微球(9)的微球(7)并...
该专利属于斯特拉斯堡大学;法国国家科学研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过斯特拉斯堡大学;法国国家科学研究中心授权不得商用。

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