下载碳化硅烧结托盘用夹取固定装置的技术资料

文档序号:23270752

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本申请公开了一种碳化硅烧结托盘用夹取固定装置,操作板的下端安装有支撑架,操作板上设有第一直线导轨,第一直线导轨上设有第一滑板和第二滑板,操作板的下端安装有驱动第一滑板和第二滑板在第一直线导轨上滑动的第一电机,第一滑板和第二滑板相对的一侧均设...
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