下载一种扩散炉结构的技术资料

文档序号:23211356

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本发明涉及一种扩散炉结构,包括石英管、与石英管两端相连接的第一、二密封组件,第一密封组件包括第一、二、三连接件、第一、二密封圈,第一连接件套设在石英管上,第一、二连接件相连接,第二、三连接件相连接,第一密封圈位于石英管、第一、二连接件之间,...
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