下载用于以介电阻挡方式进行等离子体处理的电极装置的技术资料

文档序号:23103108

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本发明涉及一种用于对物体的表面以介电阻挡方式进行等离子体处理的电极装置,所述电极装置具有至少一个柔性的、面状的电极(1)和由面状的、柔性的第一材料构成的电介质(2),所述电介质借助于阻碍直接的电流流动的层(3)保护电极(1)免受待处理的表面...
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