下载石墨烯胶囊封装晶体管制备方法的技术资料

文档序号:23086993

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本发明适用于石墨烯晶体管制备技术领域,提供了一种石墨烯胶囊封装晶体管的制备方法,包括:在第一预设衬底上生长h‑BN薄膜并利用第一光刻胶制备h‑BN台面样品;将h‑BN台面样品去除第一预设衬底后通过热释放胶带转移到石墨烯上,并去除热释放胶带以...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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