温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开一种激光转折装置、激光加工光路系统及光路调试方法，涉及激光加工技术领域。激光加工光路系统包括加工基座、激光扩束准直装置、激光转折装置、激光聚焦装置和同轴调节装置。激光扩束准直装置和激光转折装置沿X轴方向间隔设置，激光扩束准直装置用...该专利属于北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)授权不得商用。