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提供一种具有衍射性像素的二维（２Ｄ）紧密封装的ＭＥＭＳ（微机电系统）阵列的空间光调制器。每个像素（３２０）包括多个衍射单元或衍射器。每个衍射器包括被布置在基片的上方和与基片的上表面间隔开的帐篷部件（１０２），被布置在基片与帐篷部件（１０２）...
该专利属于硅光机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅光机器公司授权不得商用。

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