温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶棒工件板、晶棒切割装置及方法。晶棒工件板包括固定板及调整板，固定板用于放置晶棒；调整板位于固定板远离晶棒的表面，调整板上设置有圆心孔和若干个腰形通孔，圆心孔位于调整板的中间，若干个腰形通孔位于圆心孔的外围；固定板和调整板通过...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。