下载双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备的技术资料

文档序号:22878612

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本发明公开了双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备,包括真空工作室,真空工作室内设有可三维移动的磁控溅射阴极,真空工作室采用卧式结构,双门侧开,一面大门用于三维移动机构的安装维护,另一面大门设有用于镜片移动装置。该系统光学元件垂直放置,可避免...
该专利属于南京爱思菲瑞克光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京爱思菲瑞克光电科技有限公司授权不得商用。

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