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一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构制造技术
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文档序号:22860953
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本实用新型公开了一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构,晶体生长炉包括炉体、炉底板、坩埚,升降机构包括可升降的设于炉底板下方的升降台、用于驱动升降台升降的驱动装置、固设于升降台上的导向套、下端固定连接在导向套中的弹性件、下端固定连接在弹性件上端...
该专利属于江苏星特亮科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏星特亮科技有限公司授权不得商用。
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