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一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法包括将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板。将图像传感器组件安装到微机电系统(MEMS)致动器。图像传感器组件电连接到微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。...
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