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本发明提供了一种缺陷检测方法和装置，该方法包括：获取待检测区域内的可疑缺陷点；在所述待检测区域内设置至少一个检测窗口，其中，所述检测窗口覆盖所述待检测区域内的所有可疑缺陷点、且所述检测窗口的数量最少；对所述检测窗口实施电子束检测。本实施例采...
该专利属于北京施达优技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京施达优技术有限公司授权不得商用。

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