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本发明涉及一种感光性聚合物及其制备方法和用途。具体地，本发明公开了一种感光性聚合物、含所述感光性聚合物的感光性树脂组合物，所述感光性树脂在化学放大型光刻胶，特别是浸没式光刻胶中的应用。...
该专利属于珠海雅天科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海雅天科技有限公司授权不得商用。

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