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本发明涉及用于制造有机发光二极管面板的精细金属掩模,提供如下的精细金属掩模,即,在掩模基材的表面赋予基于纳米屏蔽层的超疏液特性,以减少有机物的附着,并易于清洗蒸镀的有机物。本发明的精细金属掩模可包括:掩模基材;以及纳米屏蔽层,在上述掩模基材...该专利属于京畿大学校产学协力团;丰元精密株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过京畿大学校产学协力团;丰元精密株式会社授权不得商用。
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本发明涉及用于制造有机发光二极管面板的精细金属掩模,提供如下的精细金属掩模,即,在掩模基材的表面赋予基于纳米屏蔽层的超疏液特性,以减少有机物的附着,并易于清洗蒸镀的有机物。本发明的精细金属掩模可包括:掩模基材;以及纳米屏蔽层,在上述掩模基材...