温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管...
该专利属于南京原磊纳米材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京原磊纳米材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。