下载一种用于薄膜触觉传感芯片测试的装置的技术资料

文档序号:22772082

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本实用新型公开一种用于薄膜触觉传感芯片测试的装置,包括:具有一用于形成气囊结构的密封通气腔的气囊施压部,包括进气控制阀和压力检测装置的气压控制部,具有多个承载单元的承载板的传感器承载部,以及包括用于对所述待测传感芯片测试端输出的信号进行处理...
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