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直拉硅单晶的引晶方法及其制造方法技术
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文档序号:22718208
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本发明公开一种直拉硅单晶的引晶方法,以引晶速度偏差调控引晶温度,引晶速度偏差为引晶调温周期内的平均引晶速度与设定引晶速度的差值。若引晶速度偏差为正,引晶温度正向微调;若引晶速度偏差为负,引晶温度负向微调。根据缩径过程差异,引晶温度调控方式包...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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