下载一种蒸发源挡板的技术资料

文档序号:22498716

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本发明涉及高真空设备技术领域,特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板,包括:载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片;挡板包括:第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部;第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口;第一挡板部与载台相向设置,第三挡板部...
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