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本发明提供了一种叠层蒸发源装置，第一冷却盒和第二冷却盒之间安置硒蒸发层，第二冷却盒上方安置金属蒸发层，所述硒蒸发层的硒蒸气管道贯穿第二冷却盒和金属蒸发层，本发明能够采用精准释放硒蒸汽质量束流提高原料利用率、硒分子团高温裂解为硒原子释放硒活性...
该专利属于河南城建学院所有，仅供学习研究参考，未经过河南城建学院授权不得商用。

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