下载用于PVD立式产线设备的载板取放装置的技术资料

文档序号:22460631

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本发明涉及PVD镀膜技术领域,提供了一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置。该装置包括固定板、固定单元和两个支架,两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧,每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆,所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与...
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