下载一种等离子体源及等离子体的产生方法的技术资料

文档序号:22420614

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本发明涉及等离子应用技术领域,具体涉及一种等离子体源及等离子体的产生方法。包括:第一电源,通过设置在射流管上的电极与所述射流管连接;所述射流管,靠近所述电极的一端设置有进气口,远离所述电极的一端设置有出气口;第二电源,与所述射流管连接,用于...
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