下载衍射光学元件和结构光投影装置的技术资料

文档序号:22417593

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本申请提供了一种衍射光学元件,该衍射光学元件包括多个晶片、间隔件和除水部。在至少一个晶片上形成一个或多个衍射光学机构。间隔件设置在多个晶片之间,以限定用于容纳一个或多个衍射光学机构的空腔。除水部去除一个或多个衍射光学机构中的水。本申请还提供...
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