下载一种溅射靶材输送箱的技术资料

文档序号:22402000

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本实用新型公开了一种溅射靶材输送箱,涉及输送箱领域,包括箱体和箱盖,箱体一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽,安置槽内壁固定有缓冲层,安置槽底部固定有多个承重梁,箱体开口周侧开设有多个与安置槽连通的预设槽,承重梁远离安置槽底部的侧面高...
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