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本发明公开了一种微米、纳米级运动工作平台运动状态和行程精密控制驱动装置。包括执行机构和控制机构，执行机构和控制机构结构相同，通过油管连接；执行机构有缸体、缸盖，在缸体内有一体化膜片及能在缸体内腔中做伸缩运动的顶杆。一体化膜片包括和缸体内腔相...
该专利属于张志宏所有，仅供学习研究参考，未经过张志宏授权不得商用。

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