下载一种NOR闪存器件及其制备方法的技术资料

文档序号:22309942

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本发明公开了一种NOR闪存器件及其制备方法,其中,NOR闪存器件,包括依次层叠的衬底、隧穿氧化层、浮栅层、介电层和控制栅层;至少一个贯穿控制栅层和介电层的浮栅过孔,浮栅过孔位于有源区,用于暴露出浮栅层,以引出浮栅电极;至少一个有源区阻挡结构...
该专利属于上海格易电子有限公司;北京兆易创新科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海格易电子有限公司;北京兆易创新科技股份有限公司授权不得商用。

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