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压电感测器制造技术
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下载压电感测器的技术资料
文档序号:22307109
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一种压电感测器,包括基底、多个主动元件、多个电极以及压电膜。主动元件设置于基底上。电极设置基底上,且与主动元件电性连接。压电膜设置于电极上,且具有朝向电极的第一表面以及设置于第一表面的对向的第二表面。压电膜的第一表面具有多个第一凹部及第一凹...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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