下载具有特殊金属连接层的垂直腔面发射激光器及制备方法的技术资料

文档序号:22241764

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本发明提供具有特殊金属连接层的垂直腔面发射激光器及制备方法,垂直腔面发射激光器包括基底结构及金属连接层,基底结构包括至少一个氧化孔窗口,以通过所述氧化孔窗口出射光线;金属连接层位于基底结构上,金属连接层包括与氧化孔窗口对应设置的金属连接层窗...
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