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本实用新型提供一种炉管机台，其中包括：反应腔室，反应腔室的内壁均匀分布复数个输送管路，复数个输送管路的底部连接一进气口；复数个输送管路由下至上均匀分布复数个气体喷嘴。本实用新型的技术方案有益效果在于：优化炉管机台，通过在反应腔室的内壁均匀分...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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