下载一种基于表面光栅的面发射激光器的技术资料

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一种基于表面光栅的面发射激光器。该激光器为脊形波导结构,自下而上包含:衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层;在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅;脊形波导上面不做电极,电极位于脊形波导两侧;在脊形波导与两侧电极之间刻蚀有沟槽;该激光器的下波导盖...
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