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一种基于表面光栅的面发射激光器制造技术
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下载一种基于表面光栅的面发射激光器的技术资料
文档序号:22137278
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一种基于表面光栅的面发射激光器。该激光器为脊形波导结构,自下而上包含:衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层;在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅;脊形波导上面不做电极,电极位于脊形波导两侧;在脊形波导与两侧电极之间刻蚀有沟槽;该激光器的下波导盖...
该专利属于华中科技大学;国伟华所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学;国伟华授权不得商用。
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