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本发明涉及安装有可量产高清晰AMOLED薄膜的垂直面蒸发源蒸镀机的集群量产设备，是通过在高真空蒸镀箱内利用垂直蒸发源在垂直金属面蒸发源蒸镀有机薄膜后，移送至配备垂直基片和垂直阴影掩模的箱体，并将有机薄膜再蒸发而在基片蒸镀细微图案薄膜的配备A...
该专利属于株式会社OLEDON所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社OLEDON授权不得商用。

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