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本发明提供了一种等离子体产生装置和螺旋波等离子体模块。所述等离子体产生装置包括构造成在外部静磁场中产生螺旋波等离子体的多个螺旋波等离子体模块；和构造成通过接收在所述螺旋波等离子体模块中产生的等离子体来处理单个基板的主室。所述各螺旋波等离子体...
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