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本申请公开了一种电镀用阳极机构和电镀装置，所述阳极机构包括：进液组件，用于输入电镀液；加速组件，设置于所述进液组件的出口处，用于输出气流以对从所述进液组件移动到晶圆的所述电镀液的进行加速。通过上述方式，本申请能够提高在晶圆上形成的金属层的均...
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