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本发明涉及一种采用金刚石划片机制备脊形光波导的方法，属于光电子器件制备领域，包括：将平面光波导进行清洗；将刀片安装到金刚石划片机的刀架上；使用蓝膜粘结到平面光波导的背面，将平面光波导的粘结面固定安装到在真空吸附操作盘上；设置切割深度、进刀速...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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