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具有源/漏极区的半导体装置制造方法及图纸
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下载具有源/漏极区的半导体装置的技术资料
文档序号:21852870
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提供了一种具有源/漏极区的半导体装置,该半导体装置包括:基底,具有具备突出形状的鳍有源区图案;器件隔离层图案,覆盖鳍有源区图案的下部的侧表面;分隔图案,覆盖鳍有源区图案的从器件隔离层图案的顶表面突出的部分的侧表面;以及源/漏极区,与鳍有源区...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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