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雪崩光电二极管及制备方法技术
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文档序号:21836721
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一种雪崩光电二极管,应用于光电探测器技术领域,在衬底上依次外延生长包括缓冲层、吸收层、过渡层、电荷层、帽层和电极接触层,电极接触层的材料为InGaAsP,且电极接触层为外延生长的本征的渐变组分材料,通过锌扩散等P型掺杂剂扩散掺杂工艺可以实现...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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