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本申请提供一种基板翻转装置，能够简化装置的结构且节约空间、进一步高效地进行基板的翻转。使基板(F)翻转的基板翻转装置(1)具备：第一吸附部(110)；第二吸附部(160)；在第一吸附部(110)的吸附面与第二吸附部(160)的吸附面相互对置...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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