专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中国科学院光电技术研究所
>
一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法技术方案
>技术资料下载
下载一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法的技术资料
文档序号:21768872
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法。首先,干涉仪发出平面波检测平面反射镜波前1。其次,采用干涉自准直法,干涉仪发出的光束经被检光学件,平面镜自准直回干涉仪形成干涉,得到整个光学系统波前2。最后,分别用Zerni...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。