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真空镀膜机制造技术
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文档序号:21747549
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本实用新型公开一种真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置以及向镀膜筒体内输送镀膜材料的物料供给装置。镀膜筒体围出用于盛放待镀工件的容置腔,容置腔内安装有用于承载并驱动待镀工件转动的转动架,转动架包括大转盘和位于大转盘外缘的小转盘,大转盘的外环面...
该专利属于深圳天成真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳天成真空技术有限公司授权不得商用。
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