下载一种涡轮分子泵转子及其扩散焊接方法的技术资料

文档序号:21681020

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本发明公开了一种涡轮分子泵转子及其扩散焊接方法,涉及气体流体领域。该涡轮分子泵转子包括多组堆叠设置的转子本体,每组转子本体包括同轴设置的两个转子环和一个翼板,且翼板设置于两个转子环之间;转子环具有台阶部和凹口部,翼板的一端用于与台阶部的侧壁...
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