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一种多弧离子镀阴极装置制造方法及图纸
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下载一种多弧离子镀阴极装置的技术资料
文档序号:21678801
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本发明公开了一种多弧离子镀阴极装置,包括用于安装多弧离子镀阴极装置的真空腔体装置和多弧阴极电源,多弧阴极体通过多弧阴极底座安装于真空腔体装置内;多弧阴极体与辅助阳极板通过绝缘支撑柱固定连接;凹型矩形靶固定在多弧阴极体上;电磁铁设置有多个;多...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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