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一种新型的耐久导电探针头涂层制造技术
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文档序号:21622903
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本发明涉及涉及薄膜技术领域,具体涉及一种新型的耐久导电探针头涂层;以HfN作为母体,通过合金化形式引入适量的Ag,形成Ag纳米颗粒镶嵌的Hf‑Ag‑N固溶体膜,本发明提供一种Ag纳米颗粒镶嵌Hf‑Ag‑N固溶体涂层,获得了接近N掺杂DLC的...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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