温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种颗粒状多晶硅中O、C、Ⅲ、Ⅴ族元素的检测方法,包括实验样棒制作检测单元、对比样棒制作检测单元和颗粒状多晶硅元素含量计算单元,由于颗粒状多晶硅本身的颗粒性,不具备直接低温红外检测的条件,采用常规的在石英坩埚里直接熔化拉单晶或者...该专利属于内蒙古神舟硅业有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古神舟硅业有限责任公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种颗粒状多晶硅中O、C、Ⅲ、Ⅴ族元素的检测方法,包括实验样棒制作检测单元、对比样棒制作检测单元和颗粒状多晶硅元素含量计算单元,由于颗粒状多晶硅本身的颗粒性,不具备直接低温红外检测的条件,采用常规的在石英坩埚里直接熔化拉单晶或者...