下载一种颗粒状多晶硅中O、C、Ⅲ、Ⅴ族元素的检测方法的技术资料

文档序号:21602838

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本发明公开了一种颗粒状多晶硅中O、C、Ⅲ、Ⅴ族元素的检测方法,包括实验样棒制作检测单元、对比样棒制作检测单元和颗粒状多晶硅元素含量计算单元,由于颗粒状多晶硅本身的颗粒性,不具备直接低温红外检测的条件,采用常规的在石英坩埚里直接熔化拉单晶或者...
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