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本发明公开了一种阵列微孔的激光空泡清洗装置及方法，即利用扫描振镜精确控制激光扫描路径，逐个作用于注有水的阵列微孔中并产生空泡，以空泡脉动过程中产生强大冲击压力将水及孔内堵塞物质清除的方法。清洗装置包括激光器、光路传输系统、扫描振镜、清洗水槽...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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