温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种可锁止的晶圆片放置架。本发明的晶圆片放置架，包括：放置架本体和第一机械抽头，放置架本体的左右侧板上对应设有多组放置槽，用于水平放置晶圆片，放置架本体的左侧板上设有竖直的第一滑槽，第一机械抽头设有多组与放置槽对应的多组第...
该专利属于紫光宏茂微电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过紫光宏茂微电子（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。