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激光加工装置制造方法及图纸
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下载激光加工装置的技术资料
文档序号:21527615
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提供一种激光加工装置。目的是抑制由于可能形成在引导光出射装置或摄像装置中的杂质而导致的激光的输出降低。激光引导部包括透射窗部、被布置成使从激光输出部出射的UV激光的光路和透射过透射窗部的透射光的光路交叉的光学部件、以及设置有透射窗部的密封构...
该专利属于株式会社基恩士所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社基恩士授权不得商用。
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