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本发明提供一种能够高精度地喷出药液的药液供给装置。药液供给装置用于将药液罐（２５）内的药液从涂覆喷嘴（２７）内喷出。药液供给装置具有将泵壳（１１）和汽缸（１２）结合为一体的合体部件（１３）。泵部件即柔性管（１５）设置在泵壳（１１）上，其内部...
该专利属于株式会社小金井所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社小金井授权不得商用。

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