下载提高酸性蚀刻液再生回用率的系统及方法的技术资料

文档序号:21473315

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本发明揭示一种提高酸性蚀刻液再生回用率的系统,其包括蚀刻产线、电解装置、添加装置、再生液调配装置以及再生液ORP提升装置,蚀刻产线的富铜酸性蚀刻废液经电解装置电解后成氯气和贫铜电解清液,贫铜电解清液与蚀刻产线的低ORP酸性蚀刻液混合形成再生...
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